切割
對應新世代介電層材料其特性,易脆且使用刀輪切割容易產生暗裂導致晶片失去功能,導入雷射開槽技術克服該材料特性
另對應極窄切割道產品,台星科也在積極與客戶/供應商端合作發展先進切割製程技術,包含以下兩種切割方法
電漿切割
隱形切割 & 擴片

規格 & 能力

碳化矽晶圓切割也可在台星科施作
